中科仪：国产半导体真空泵龙头，技术壁垒深厚

摘要： 本报告对中科仪（920186.BJ）进行首次覆盖研究。公司是中国领先的半导体制造设备核心部件及真空科学仪器供应商，主营干式真空泵与真空科学仪器，是国内唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业。

核心观点/结论：

1. 技术领先且打破垄断：公司打破了欧美日企业在半导体干式真空泵领域的长期垄断，产品覆盖清洁、中等、苛刻工艺，满足 14nm 先进逻辑芯片及 128 层以上 3DNAND 需求。
2. 竞争优势显著：依托中国科学院背景和国家级研发平台，构建了深厚的技术壁垒，在集成电路领域出货量领先，并具备整合 SUBFAB 全类型设备数据的能力。
3. 估值具有吸引力：发行后市值相较于拓荆科技、北方华创等同行业可比公司具有较大折价。

经营与财务要点：

1. 业绩稳健增长：2023-2025 年营收分别为 8.52、10.82、12.91 亿元，复合增长率 22.75%；扣非归母净利润持续增长。
2. 客户结构优质：重点覆盖长江存储、长鑫科技、中芯国际等头部企业，并已在台积电、SK海力士等海外领先企业实现出货。
3. 产能持续扩张：通过募投项目提升产能，预计达产后总产能将由 2025 年的 1 万台提升至 2.65 万台。

催化剂与风险：

1. 催化剂：半导体设备国产替代加速、募投项目达产带来的产能释放。
2. 风险：技术研发风险、国际贸易摩擦、市场竞争加剧、产品尚未覆盖部分先进制程环节以及经营业绩下滑风险。