中科仪：半导体干式真空泵国产替代龙头，募投产能释放与技术迭代共驱成长

摘要： 中科仪是国内领先的半导体核心部件及真空科学仪器供应商，在干式真空泵集成电路领域出货量居国产厂商首位，且是国内唯一实现先进制程批量应用的国产企业。

核心观点/结论：

1. 国产替代龙头：公司干式真空泵已满足 14nm 逻辑芯片及 128 层以上 3D NAND 工艺要求，打破欧美日垄断，在集成电路清洁、中等、苛刻三类工艺均实现批量应用。
2. 增长动力充足：受益于半导体产业自主化加速及光伏领域稳定需求，公司具备全链条制造能力，且通过募投项目扩产，未来年产能将达 2 万台，通过自动化升级提升效率。

经营与财务要点：

1. 营收稳步增长：2022-2025 年营收复合增长率 22.75%，主营收入以干式真空泵为主，其中集成电路应用占比最高（2025 年达 91.25%）。
2. 盈利能力分析：销售毛利率受光伏行业景气度下行及市场扩张定价策略影响有所下滑，但扣非净利润在 2024 年仍实现增长，主营业务盈利能力在改善。

催化剂与风险：

1. 催化剂：募投项目产能释放、新一代节能/超高温干泵研发突破、先进制程产品进一步拓展。
2. 风险：国际领先厂商（如 Edwards, Ebara）竞争加剧、国际贸易摩擦影响下游建设进度、持有上市公司（拓荆科技、中科信息）股份的股价波动风险。