中科仪：半导体真空设备龙头，国产替代与下游扩产驱动业绩增长

摘要： 本报告对中科仪（920186.BJ）进行深度分析，认为其作为国内半导体干式真空泵出货量最大且唯一在先进制程实现批量应用的国产企业，在国产替代和晶圆厂扩产趋势下具有显著的投资价值。

核心观点/结论：

1. 行业地位领先：公司是国内唯一在集成电路清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产干式真空泵厂商，产品性能与国际龙头基本持平。
2. 增长动能强劲：受益于国内晶圆厂产能扩张（预计2030年达1410万片/月）及国产化替代加速，需求端具备稳步增长空间。

经营与财务要点：

1. 营收规模增长：2023-2025年营收年化复合增长率达 23.2%，但利润端受非经常性损益影响较大，主要源于持有拓荆科技、中科信息等上市公司的公允价值变动。
2. 产品与客户结构：核心产品为罗茨干泵，覆盖逻辑和存储芯片的多种工艺。主要客户包括中芯国际、长江存储、长鑫存储等主流晶圆厂，复购率良好。

催化剂与风险：

1. 催化剂：募投项目（8.25亿元）将扩产干式真空泵并布局新一代产品，若顺利投产，预计2030年国内集成电路干式真空泵市占率可提升至 24.15%。
2. 风险：技术研发不及预期、国际贸易摩擦、市场竞争加剧以及持股股价波动影响业绩。