中科飞测：量检测领军企业，明暗场产品有望迎来突破

摘要： 本报告首次覆盖中科飞测，将其定义为国产高端半导体质量控制设备领军企业，通过“检测+量测”双轮驱动实现国产替代，旨在打破海外厂商在量检测环节的长期垄断。

核心观点/结论：
公司已形成较为完整的产品矩阵，且核心设备在头部客户产线持续验证并加快导入。受益于国内晶圆厂扩产与先进制程演进推动的需求上行，公司有望实现市场份额持续提升。预计2025-2027年公司总营收分别为 20.53/30.60/45.65 亿元，归母净利润分别为 0.58/4.12/6.36 亿元。首次覆盖，给予“持有”评级。

经营与财务要点：

1. 营收规模高增长：2021-2024 年复合增长率达 56.44%，检测设备贡献主业收入，量测设备营收占比呈上升趋势，且设备毛利率持续提升。
2. 研发投入强度高：公司处于投入期，研发费用率高位波动（2025H1 达 40.65%），导致近期归母净利润出现小幅亏损，但旨在通过技术迭代巩固领先优势。
3. 产品线全面突破：检测设备涵盖无图形、图形及明暗场纳米图形晶圆缺陷检测；量测设备涵盖三维形貌、套刻精度、薄膜膜厚等。其中，暗场纳米图形检测设备填补国内空白。

催化剂与风险：

1. 催化剂：国内晶圆厂扩产节奏加快、先进制程国产设备导入窗口期开启、明暗场产品量产突破。
2. 风险：宏观环境波动、半导体行业周期性下行、核心竞争力不足、政府补助及税收政策变动、知识产权争议。