中科仪干泵订单爆发与产能倍增调研纪要

本次会议主要交流了中科仪 2026 年前三季度业绩与干式真空泵业务的最新进展。2026Q3 扣非净利同比大幅增长，干泵订单自 Q2 起爆发，预计全年新签订单约 20 亿元，合肥和武汉两大客户订单额实现翻倍。产能方面，公司计划通过沈阳和南通基地扩产，目标在 2026 年底实现年产 2 万台，2028-2029 年达到 3.5 万台总产能。盈利优化方面，随着核心部件自制率从 30% 提升至 70%-80%，毛利率有望由 29% 提升至 35% 左右，早期低价订单预计于 2027Q1 交付完毕。技术与第二曲线方面，逻辑芯片先进制程验证稳步推进，Chiller 与 Scrubber 一体机业务进展顺利，能耗优势明显，预计 2027 年将实现重大突破；同时，真空仪器板块配套光刻技术的自由电子激光设备预计在 2027-2028 年进入成果期。