中国电子气体产业发展深度研究报告

机构研报 行业研究 / 行业深度专题 申万: 半导体材料 中船特气 (688146.SH) 南大光电 (300346.SZ) 昊华科技 (600378.SH) 华特气体 (688268.SH) 金宏气体 (688106.SH) 广钢气体 (688548.SH) 雅克科技 (002409.SZ) 正帆科技 (688596.SH)
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📰 研报摘要

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摘要: 本报告对中国电子气体(含电子大宗气体与电子特种气体)产业进行了系统性研究,重点分析了其在集成电路、半导体显示及光伏领域的应用、技术壁垒及竞争格局。报告指出电子特气是半导体制造的关键材料,虽国产化率有所提升,但先进制程高端产品仍高度依赖海外巨头,国产替代空间巨大。

行业主线:

  1. 国产替代进程加速:集成电路电子特气整体国产化率不足 25%,国内企业在刻蚀、沉积等细分领域已实现点状突破,正从低端向高端攻坚。
  2. 技术壁垒极高:核心难点在于极致的纯度控制(ppt 级别)与复配工艺,且下游客户认证周期长,准入门槛高。
  3. 产品分化明显:大宗气体以现场制气(On-site)长周期合同为主,特种气体以零售供气(Merchant)多元化供应为主。

关键变化与分歧:

  1. 产能快速释放与过剩风险:国内在建项目众多,部分品种(如超纯氨、三氯化硼)已出现严重产能过剩,导致中低端产品价格内卷。
  2. 供给侧结构性机会:尽管总量过剩,但 5.5N 级以上高纯产品及 7nm 以下先进制程的关键材料依然短缺。
  3. 原料端波动影响:如六氟化钨依赖的仲钨酸铵(APT)出口管制,将推高全球价格,利好具备原料供给优势的国内厂商。

受益方向与风险:

  1. 受益方向:能够突破高纯度瓶颈进入先进制程供应链的企业,以及在氦气等战略性稀有气体领域实现自主可控的厂商。
  2. 核心风险:行业产能过剩导致毛利率下滑;下游半导体资本开支波动;海外专利壁垒及贸易限制。