建筑行业专题报告：洁净室内部各系统产业链及公司梳理

本报告分析了半导体洁净室产业链的核心系统及国产化进程。洁净室作为芯片制造的基础设施，其核心系统包括暖通空调系统（HVAC）、高纯工艺系统及工艺废气治理系统。HVAC系统通过FFU和过滤器构建环境壁垒，美埃科技等厂商在FFU及过滤器环节具有竞争力；高纯工艺系统涉及特气、化学品及超纯水供应，正帆科技、至纯科技等在系统集成方面占据市场份额；工艺废气治理系统与工艺深度耦合，盛剑科技等企业通过技术突破实现国产化。报告指出，随着半导体资本开支上行及先进制程的需求增长，具备项目落地能力的系统集成商及核心零部件/耗材厂商有望充分受益。建议关注亚翔集成、柏诚股份、圣晖集成等洁净室总包厂商，以及美埃科技、正帆科技、盛剑科技等核心设备与系统供应商。风险提示包括下游资本开支不及预期、竞争加剧及回款风险等。