半导体洁净室深度研究：内部系统产业链及投资机会梳理

报告核心探讨了半导体洁净室产业链的构成、技术壁垒及投资逻辑。洁净室不仅是建筑工程，更是涉及暖通空调、高纯工艺、废气治理等关键子系统的良率保障体系。随着先进制程及存储芯片产能扩张，洁净室需求持续增长，且对空气分子污染物（AMC）控制、系统稳定性及后期运维提出了更高要求。

报告将产业链分为三个层次：洁净室系统集成、核心设备与耗材（FFU、过滤器、滤料）、专业产物系统（特气、高纯化学品、超纯水、废气治理）。核心投资逻辑在于国产替代及商业模式从一次性集成（CAPEX）向后续运维复购（OPEX）的转型。重点建议关注：系统集成的亚翔集成（海外高毛利）、百成股份（国内二次配）、圣辉集成（出海）；暖通系统的再生科技、美爱科技；高纯工艺的正帆科技、至纯科技、新莱应材；废气治理的盛剑科技。