本次会议深度梳理了半导体洁净室产业链及内部核心系统。洁净室作为晶圆良率控制的关键环节，其需求随先进制程与存储芯片资本开支向上而扩张。报告将洁净室系统拆分为暖通空调系统（HVAC）、高纯工艺系统（化学品、特气、超纯水）及废气治理系统。核心逻辑在于从一次性工程建设（Capex）向后期运维与耗材复购（Opex）延伸，看好具备核心技术壁垒、国产化替代能力及高客户粘性的公司。HVAC系统关注FFU及过滤器技术领先者；高纯工艺系统关注系统集成及气体耗材布局；废气治理关注设备配套能力。核心标的包括雅翔集成、柏诚股份、盛晖集成、美埃科技、正帆科技、至纯科技、再生科技等。