微导纳米首次覆盖：半导体薄膜沉积设备加速放量，平台化布局打开成长空间

本报告首次覆盖微导纳米，给予“增持”评级，目标价155.76元。公司业务结构正由光伏设备主导转向半导体设备驱动，以原子层沉积（ALD）为核心并向CVD等薄膜沉积技术延伸。2025年半导体设备收入达8.81亿元，同比增长169.12%，已成为公司的第二增长曲线。公司ALD设备已完成产业化验证，并在逻辑、存储及先进封装领域获得商业订单，正由单品突破向平台化扩张迈进。财务方面，2025年公司营收26.33亿元，归母净利润2.19亿元，目前处于高投入、扩产能和导入新品阶段，未来盈利弹性取决于半导体收入规模扩大及毛利率修复。风险提示包括下游客户推进及扩产不及预期。