申万宏源半导体设备零部件国产替代行业交流纪要

本次会议聚焦半导体设备零部件的国产替代趋势，认为在整机设备国产化之后，零部件将成为下一个具备强边际弹性的投资主线。会议详细分析了真空系统、射频等离子、气路液体、光学器件及热管理等细分零部件的市场规模与竞争格局，强调该赛道具有分散且专精的特点，为国内企业提供了机会。会议重点分析了中科仪，认为其在半导体真空泵领域具备极强的国产替代属性，在清洁和中等苛刻工艺中已实现量产，且苛刻工艺产品正处于验证尾期。中科仪的投资逻辑包括：国产替代市占率提升、产品结构优化（苛刻工艺占比提升）带动毛利率回升、以及通过维保业务和横向拓展温控设备（chiller）与尾气处理装置（scrubber）来提升估值上限。