半导体设备零部件国产替代行业交流纪要

本次会议聚焦半导体设备零部件的国产替代主线，认为在整机国产化之后，零部件将成为下一个具备强边际弹性的投资主线。会议详细分析了真空系统、射频等离子、气路液体、光学器件、精密控制及辅助设备等细分市场的全球及中国规模，指出该赛道具有专精特新、格局分散的特点，国内企业在细分领域实现突破的机会较大。会议重点分析了中科仪，认为其作为国内唯一在半导体清洁中等苛刻工艺实现量产的真空泵企业，受益于存储厂（如长兴、长存）的扩产，订单供不应求，且正在向苛刻工艺用泵以及温控设备（Chiller）、尾气处理装置（Scrubber）横向拓展，预计毛利率将逐步修复。此外，会议还提及了富创、新来印材、正翻、恒运仓、科马科技、先锋荆轲、电工电子、微软密封、华卓荆轲等相关零部件国产替代标的，认为产业即将迎来一轮超级爆发周期。