📰 研报摘要
查看全文 ➔中科仪是国内集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，具备深厚的技术积淀。公司构建了“科研反哺产业、产业验证技术”的闭环业务模式，业务覆盖干式真空泵与真空科学仪器两大板块。公司干式真空泵产品成功打破外资垄断，是唯一在集成电路先进制程及清洁、中等、苛刻全工艺环节均实现批量应用的国产企业，已进入长江存储、长鑫科技、北方华创等国内头部厂商供应链，并获台积电、SK海力士验证。受益于半导体国产化进程及晶圆厂产能扩张，预计公司真空泵及仪器业务将维持稳健增长。首次覆盖，给予“增持”评级。