📰 研报摘要
查看全文 ➔本次调研聚焦于高端制程关键刻蚀气体六氟丁二烯的供需状况与技术瓶颈。会议指出，六氟丁二烯在200层以上NAND制程中具有不可替代性，但国内量产纯度目前约4.5N，尚未实现5N级量产突破，导致7nm以下先进制程仍高度依赖日本进口。价格方面，5N级产品单价约400万元/吨，受海力士、三星等存储厂商需求增加驱动，今年全球供需缺口约800吨，预计明年价格将上涨20%-30%。产能方面，国内4.5N级主要参与者包括鼎龙、华特气体、中船特气、中巨芯等，合计稳定产能约1000-2000吨，面对2800吨的全球需求依然紧张。扩产的核心难点在于提纯环节的同分异构体处理。此外，调研讨论了氟氮混合气的替代潜力，认为其虽环保性强，但由于纯度提纯难度大且产能极低，短期内难以在先进制程中大规模替代六氟丁二烯。