AI算力引领封装升级:玻璃基板TGV与电镀填孔核心工艺专题研究

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📰 研报摘要

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摘要: 本报告重点分析了在AI算力需求推动下,玻璃基板作为先进封装材料升级主线的技术逻辑与产业化路径,详细探讨了TGV(玻璃通孔)及电镀填孔等核心工艺对量产的影响,并梳理了从原片到设备的产业链机会。

行业主线:

  1. 材料升级趋势明确:传统有机载板在Chiplet和2.5D/3D先进封装中面临形变翘曲和信号损耗瓶颈,玻璃基板凭借低热膨胀系数、高平整度和低介电损耗,成为承接高I/O、高带宽需求的理想替代方案。
  2. 应用场景阶梯演进:玻璃基板将经历从显示领域(Mini/Micro LED)到半导体先进封装(玻璃芯基板),再到前沿CPO(光电共封装)的路径演进。

关键变化与分歧:

  1. 工艺瓶颈后移:TGV成孔技术已基本完成验证并进入规模化导入期,产业量产的瓶颈已全面转向后段的金属化种子层沉积、无空洞电镀填孔以及RDL高密度布线。
  2. 量产节奏:海外龙头(如英特尔、博通)正加速验证,预计2027年起将进入规模化量产周期。

受益方向与风险:

  1. 受益方向:半导体级玻璃原片、TGV激光设备(LIDE工艺)、磁控溅射金属化设备、周期反向脉冲电镀设备及高纯药水。
  2. 核心风险:TGV及RDL工艺良率提升不及预期、海外巨头技术壁垒较高、AI算力需求增速放缓。